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光刻機是晶片製造過程中最重要的裝置,尤其是
EUV
光刻機,
7nm
以下製程更是離不開。但
EUV
只有
ASML
一家能夠生產,且產量有限,
10
多年才生產了
140
多臺。
因此,
EUV
光刻機一直供不應求,臺積電、三星等一直在爭取。但最近訊息傳來,臺積電將關閉
4
臺
EUV
,原因眾說紛紜,臺積電劉德音發聲卻被認為是在欲蓋彌彰。
臺積電擁有最多EUV
EUV
光刻機有多複雜暫且不提,總之目前只有
ASML
能夠做出來,售價高達
1。2
億歐元,約合人民幣
8。18
億元,主要用於高階製程,客戶不太多,但也得積極爭取。
三星為了獲得更多的
EUV
,他們的高管兩次前往
ASML
總部爭取,也沒拿到多少。
而臺積電目前卻擁有
80
多臺
EUV
,佔據
ASML
出貨所有
EUV
數量的一半以上,可見這兩家的關係不一般。當然,
ASML
和臺積電在
EUV
成長的過程中可謂互相成就。
臺積電的技術專家林本堅被稱為“浸潤式光刻之父”,
ASML
就是採用了他提出的浸潤光刻技術,才推出了浸沒式
DUV
光刻機,然後才實現了對日本尼康和佳能的超越。
而
ASML
光刻機的成長,也得益於臺積電的積極配合。光刻機想要進入實用,就需要晶片製造廠使用並反饋問題,臺積電一直和
ASML
共同協作,也就有了購買優先權。
臺積電也因為有了最多的
EUV
光刻機,高階製程產能和代工市場份額都是全球最多。
EUV先進但有個缺點
EUV
光刻機確實非常先進,進入
7nm
就要用到,雖然用
DUV
光刻機也能做,但需要多層曝光,成本太高且產品良率上不去,而用
EUV
就不用多層曝光,直接可以做。
不過,
EUV
光刻機也有缺點,那就是耗電非常厲害,輸出的功率很低。原因就是它採用了
EUV
光源,波長僅為
13。5nm
,要把光壓到這麼短的波長,需要很強的能量。
然而,臺積電僅
EUV
光刻機就有
80
多臺,目前還在建好幾個晶片廠,未來會更多。
近日,有訊息顯示,臺積電計劃關閉
4
臺
EUV
光刻機。於是,結合當前晶片行業下行的趨勢,英偉達、
AMD
、高通等客戶紛紛砍單,導致臺積電先進製程利用率下降。
就有不少人認為,臺積電關閉
EUV
光刻機就是為了降低運營成本,節省耗電開支。
然而,又有貌似臺積電內部傳出的訊息,臺積電這次關閉
4
臺
EUV
光刻機,只是為了將這幾臺裝置進行升級,升級後單機產能將提升
18%
左右。到底哪個說得對呢?
劉德音有點欲蓋彌彰
至於關閉
4
臺
EUV
的理由大可不必追究,不過
EUV
光刻機是電老虎的傳言應該非虛。
據相關統計,
2020
年臺積電耗電量達
160
億
kWh
,約佔中國臺灣地區整體能源消耗的
5。9%
。
2021
年臺積電耗電量接近
170
億
kWh
,預計
2025
年佔比會升至
12。5%
。
關鍵是,
EUV
的能源轉換效率極低,大概只有
0。02%
左右。
據瞭解,最先進的 EUV
輸出功率約為
250W
,需要
1。25MW
的電力,因此一臺
EUV
一天就要耗電
3
萬
kWh
。
但面對
EUV
光刻機耗電、臺積電成為耗電大戶的情況下,現任董事長劉德音卻有自己的說法,臺積電技術都是最高效能也是最節能,每用
1
度電可為社會節省
4
度電。
不過,劉德音說法很多人並不苟同。有外媒表示,耗電是事實,劉德音在欲蓋彌彰。
也有網友表示,劉德音這是在狡辯,生產的產品節省和生產過程中的耗電根本就是兩回事。連臺積電一名內部人士在接受採訪時都表示,希望未來
EUV
用得越少越好。
臺積電劉德音近期還表示,臺積電將繼續追求更極致的能效。其實,臺積電一直不停地追求先進製程,主要還是為了能夠保持技術領先,同時保障能夠繼續全球領先。
而英偉達
CEO
黃仁勳卻表示,摩爾定律已經結束了,因為效能實現提升的同時並沒有實現成本降低,反而成本已高得過於離譜了。這說明,臺積電走得越來越偏執了!